作者： 李瑞君、何园涛、王鵬宇、范光照
文章出處： 第11屆海峽兩岸計量學術研討會
研製了一套以DSP晶片為主控制器的高精度一維納米定位控制系統。該系統主要由驅動平臺、微型邁克爾遜干涉儀、DSP控制器等三個模組組成。其中驅動平臺模組由線性滑軌、超聲波馬達HR4和驅動器AB2組成。超聲波馬達HR4配合其專用驅動器AB2利用摩擦力來驅動側面貼有陶瓷片的線性滑軌，微型邁克爾遜干涉儀用來感測滑軌的位移值。基於BP神經網路的PID控制演算法和邁克爾遜干涉儀的相位計算全部由主控制器DSP晶片完成。實驗結果表明，該定位系統行程為20 mm，定位精度優於10 nm，重複定位標準差為7 nm。該定位系統具有系統架構簡單，定位精度高等優點，可用于大行程高精度定位應用場合。
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